در اتاقهای تمیز برای میکروالکترونیک و تولید دارویی ، اغلب از مواد اسیدی و قلیایی ، حلالهای آلی ، گازهای عمومی و گازهای ویژه در فرآیند تولید استفاده می شود. در داروهای حساسیت زا ، استروئیدهای خاص در فرآیند تولید داروهای ارگانیک ، داروهای بسیار فعال و سمی ، مواد مضر مربوطه تخلیه می شوند یا به اتاق تمیز نشت می کنند. بنابراین ، تجهیزات یا روشهای فرآیند تولید که ممکن است مواد مضر مختلف ، گازها یا گرد و غبار را در اتاق تمیز برای تولید محصولات فوق منتشر کنند ، دستگاه اگزوز محلی یا دستگاه اگزوز اتاق کامل را تنظیم کنید. با توجه به نوع گازهای زائد تخلیه شده در طول فرایند تولید ، دستگاه اگزوز (سیستم) را می توان به طور کلی به انواع زیر تقسیم کرد.
(1) سیستم اگزوز عمومی
(2) سیستم خروجی گاز آلی
(3) سیستم خروجی گاز اسیدی
(4) سیستم خروجی گاز قلیایی
(5) سیستم خروجی گاز داغ
(6) سیستم اگزوز حاوی گرد و غبار
(7) سیستم خروجی گاز ویژه
(8) سیستم اگزوز مضر و سمی در تولید دارو